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技術(shù)文章

2021
9-13

場(chǎng)發(fā)射電鏡真的那么好用嗎？
場(chǎng)發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種，是以場(chǎng)發(fā)射電子發(fā)射體發(fā)射電子，并以電子束為光源，在真空狀態(tài)下通過(guò)電磁透鏡控制電子束匯集成很小的束斑照射并透過(guò)樣品。由于電子的德布羅意波長(zhǎng)非常短，可以獲得樣品原子級(jí)微觀形貌。其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對(duì)樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來(lái)對(duì)微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析。具有電子束斑小、高分辨率、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。場(chǎng)發(fā)射電鏡有以下幾種用途：1.納米材料基本特性分析：對(duì)有機(jī)、無(wú)機(jī)、納米材料進(jìn)行微觀形態(tài)研究...
2021
9-10

FIB雙束掃描電鏡是什么？他又有那些用途？
隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜，這對(duì)微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來(lái)越高。FIB雙束掃描電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域。FIB雙束掃描電鏡是指同時(shí)具有聚焦離子束(FocusedIonBeam，F(xiàn)IB)和掃描電子顯微鏡(ScanningElectronMicroscope，SEM)功能的儀器。它可以實(shí)現(xiàn)SEM實(shí)時(shí)觀測(cè)FIB微加工過(guò)程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的...
2021
9-8

聚焦離子束顯微鏡原來(lái)可以用于這些地方！
聚焦離子束顯微鏡的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負(fù)電場(chǎng)(Extractor)牽引端細(xì)小的鎵原子，而導(dǎo)出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過(guò)一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過(guò)二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來(lái)進(jìn)行特定圖案的加工，一般單粒子束的顯微鏡，可以提供材料切割、沉積金屬、蝕刻金屬和選擇性蝕刻氧化層等功能。聚焦離子束顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析、TEM制樣等。1.精細(xì)切割及材料蒸鍍：利用顯微鏡可以在素玻璃上分別進(jìn)行鎵離子精細(xì)切割及...
2021
8-24

FIB雙束電鏡是什么？有哪些功能？
隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜，這對(duì)微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來(lái)越高。FIB雙束電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域。FIB雙束電鏡系統(tǒng)是指同時(shí)具有聚焦離子束和掃描電子顯微鏡功能的系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)SEM實(shí)時(shí)觀測(cè)FIB微加工過(guò)程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的優(yōu)勢(shì)集于一身。其中，F(xiàn)IB是將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)加速，再聚焦于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號(hào)形成電子像，...
2021
8-22

FIB顯微鏡的原理和作用，快來(lái)了解一下吧！
隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合FIB顯微鏡等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。FIB顯微鏡的工作原理：聚焦離子束(FIB)轟擊樣品表面，激發(fā)二次電子、中性原子、二次離子和光子等，收集這些信號(hào)，經(jīng)處理顯示樣品的表面形貌。聚焦離子束的...
2021
8-20

TEM掃描電鏡能通過(guò)哪些信號(hào)得到被檢測(cè)樣品信息？
TEM掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子等多種的信號(hào)，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如：形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。TEM掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，...
2021
8-18

你知道透射電鏡是由哪幾個(gè)部分組成的嗎？
透射電鏡結(jié)構(gòu)主要分為電子光學(xué)、真空系統(tǒng)和供電控制系統(tǒng)三個(gè)部分。一、透射電鏡電子光學(xué)部分：整個(gè)電子光學(xué)部分*置于鏡筒之內(nèi)，自上而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機(jī)構(gòu)等裝置。根據(jù)這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統(tǒng)、樣品室、成像系統(tǒng)及圖像觀察和記錄系統(tǒng)。1.照明系統(tǒng)：照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡和相應(yīng)的平移對(duì)中及傾斜調(diào)節(jié)裝置組成。它的作用是為成像系統(tǒng)提供一束亮度高、相干性好的照明光源。電子槍由陰極、柵極和陽(yáng)極構(gòu)成。在真空中通電...
2021
8-18

FEI掃描電鏡的哪些功能是我們不知道的？
FEI掃描電鏡專(zhuān)為細(xì)胞、細(xì)胞器、石棉、聚合物和軟材料等在環(huán)境溫度和低溫下的二維和三維成像而設(shè)計(jì)。以其可選的、可伸縮的冷凍箱和低劑量技術(shù)提高了電子束敏材料的成像質(zhì)量。此外，可以在配置中添加側(cè)插式可伸縮能量色散光譜(EDS)探測(cè)器，以實(shí)現(xiàn)精確化學(xué)分析。超大間隙的C-Twin極靴提供了*的應(yīng)用靈活性，再加上超高穩(wěn)定性的電子鏡筒，為高分辨率三維表征、原位動(dòng)態(tài)觀察和衍射應(yīng)用提供了新的機(jī)會(huì)。FEI掃描電鏡具有高對(duì)比度、高質(zhì)量的TEM和stem成像，可同時(shí)檢測(cè)多種信號(hào)，并可采用四通道集成s...
2021
8-18

sem掃描電鏡到底具有哪些優(yōu)點(diǎn)？
sem掃描電鏡的分析室滿(mǎn)足了對(duì)元素(EDX，WDS)和晶體學(xué)(EBSD)樣品數(shù)據(jù)日益增長(zhǎng)的需求，該分析室支持多個(gè)EDX檢測(cè)器，以提高通量并消除陰影效應(yīng)。此外，分析室支持共面EDX/EBSD和平行光束WDS，以確保所有技術(shù)的佳定位。由于掃描電鏡的現(xiàn)場(chǎng)能力，即使在絕緣或高溫的樣品上也可以獲得可靠的分析結(jié)果。用于光子學(xué)，地球科學(xué)，陶瓷，玻璃和故障分析應(yīng)用的其他樣品信息來(lái)自*的可伸縮RGB陰極發(fā)光檢測(cè)器。掃描電鏡將廣泛的成像和分析模式與新型先進(jìn)的自動(dòng)化技術(shù)相結(jié)合，可提供同類(lèi)產(chǎn)品中完整...
2021
8-9

透射電鏡系統(tǒng)是由哪些部分組成的
透射電鏡是目前材料科學(xué)領(lǐng)域常用的分析儀器，廣泛地應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。透射電鏡，全稱(chēng)透射電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱(chēng)TEM，是一種把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度等相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像，影像在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏，膠片以及感光耦合組件）上顯示出來(lái)的顯微鏡。TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成：1、電子槍?zhuān)喊l(fā)射電子。由陰極，柵極和陽(yáng)極組成。陰極管發(fā)射的電子通過(guò)柵極上的小孔形成射線束，經(jīng)陽(yáng)...

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