GRAS麥克風46AE上海分公司*
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大多數(shù)麥克風都是駐極體電容器麥克風（ECM），這種技術已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動膜。與ECM的聚合材料振動膜相比，MEMS麥克風在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會受溫度、振動、濕度和時間的影響。由于耐熱性強，MEMS麥克風可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調試成本。目前，集成電路工藝正越來越廣泛地被應用在傳感器及傳感器接口集成電路的GRAS麥克風46AE上海分公司*制造中。這種微制造工藝具有、設計靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產的優(yōu)點。早期微型麥克風是基于壓阻效應的，有研究報道稱，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風。但是，在敏感膜內不存在應力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內將導致麥克風在聽覺頻率范圍內的頻率響應極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對于麥克風應用是不可接受的。當敏感膜內存在張應力時，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價。當然，可以通過調整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見，壓阻式方案并不適于微型麥克風的制造
20世紀初，麥克風由初通過電阻轉換聲電發(fā)展為電感、電容式轉換，大量新的麥克風技術逐漸發(fā)展起來，這其中包括鋁帶動圈等麥克風，以及當前廣泛使用的電容麥克風和駐極體麥克風。圈麥克風的工作原理是以人聲通過空氣使震膜振動，然后在震膜上的電磁線圈繞組和環(huán)繞在動圈麥頭的磁鐵形成磁力場切割，形成微弱的波動電流。電流輸送到擴音器，再以相反的過程把波動電流變成聲音
對于鋁帶麥克風來說，其使用的鋁帶既是麥克風膜片，又是在磁場中運動的導體。鋁帶通常由鋁帛制成，厚0~1毫米，寬2毫米~4毫米，質量僅為0.2毫克，以求達到較好的瞬態(tài)反應。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率，鋁帶被制成皺折狀以保持一個的張力值。鋁帶作為導體和麥克風膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場中，隨入射聲波頻率而振動，同時在鋁帶兩端產生一定的電壓輸出
電容式液位傳感器由電容式傳感器與電子模塊電路組成，它以兩線制4～20mA恒定電流輸出為基型，經(jīng)過轉換，可以用三線或四線方式輸出，輸出信號形成為 1～5V、0～5V、0～10mA等標準信號。電容傳感器由絕緣電極和裝有測量介質的圓柱形金屬容器組成。當料位上升時，因非導電物料的介電常數(shù)明顯小于空氣的介電常數(shù)，所以電容量隨著物料高度的變化而變化。傳感器的模塊電路由基準源、脈寬調制、轉換、恒流放大、反饋和限流等單元組成。采用脈寬調特原理進行測量的優(yōu)點是頻率較低，對周圍元射頻干擾、穩(wěn)定性好、線性好、無明顯溫度漂移等。
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