硬質(zhì)合金是以一種或幾種難熔碳化物（碳化鎢、碳化鈦等）的粉末，加入作為粘結(jié)劑的金屬粉末（鈷、鎳等），經(jīng)過(guò)粉末冶金法制得的合金。而硬質(zhì)合金的性能直接取決于其顯微結(jié)構(gòu)，而合金的顯微結(jié)構(gòu)在制造過(guò)程中不斷地發(fā)生變化，在很大程度上是由其原料決定的。

出于對(duì)工藝上的質(zhì)量要求，很多企業(yè)都非常關(guān)注硬質(zhì)合金生產(chǎn)的原材料的晶粒形貌，平均尺寸，粒度分布。掃描電鏡則可以觀察粉末從原料到成品的整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中的超細(xì)的微米納米級(jí)粉末顆粒的微觀形貌和顆粒分布，以此來(lái)判斷原材料的均勻性和晶體結(jié)構(gòu)的發(fā)育情況，以及樣品中是否存在異物等，為粉末生產(chǎn)的品質(zhì)提供最直觀的證據(jù)。

掃描電子顯微鏡可以幫助我們對(duì)硬質(zhì)合金的形貌和成分進(jìn)行綜合分析，在實(shí)際生產(chǎn)、新產(chǎn)品研發(fā)、質(zhì)量控制等方面發(fā)揮著非常重要的作用。

賽默飛智能型鎢燈絲掃描電鏡Axia ChemiSEM配備了五軸優(yōu)中心樣品臺(tái)，在檢測(cè)時(shí)，樣品不僅可以在三維空間中移動(dòng)，還可以根據(jù)檢測(cè)需要進(jìn)行空間轉(zhuǎn)動(dòng)，五軸觀察，非常有利于使用者對(duì)感興趣的區(qū)域進(jìn)行連續(xù)、系統(tǒng)的觀察分析。另外，在實(shí)際的應(yīng)用中，除了樣品的微觀形貌，使用者也希望在同一臺(tái)設(shè)備上進(jìn)行化學(xué)成分分析，提供包括形貌、成分在內(nèi)的盡可能多的全面的資料，以便能更詳細(xì)、客觀地對(duì)樣品進(jìn)行分析。

Axia ChemiSEM將傳統(tǒng)SEM的各種成像模式與實(shí)時(shí)元素定量分析功能全面集成在一起，可以快速識(shí)別更大面積范圍內(nèi)的各類(lèi)異物，一鍵獲取實(shí)時(shí)元素分析結(jié)果。使用Axia ChemiSEM獲取樣品表面的成分分析結(jié)果，同時(shí)包含SEM和EDS數(shù)據(jù)，較短的采集時(shí)間也可獲取表面異物顆粒的成分信息。我們利用EDS元素點(diǎn)分析的方法準(zhǔn)確定量分析異物元素，Axia ChemiSEM用戶(hù)界面集成了傳統(tǒng)EDS的所有功能，在對(duì)特征區(qū)域進(jìn)行定點(diǎn)元素分析時(shí)，不需要切換到其他軟件就可以完成分析，可隨時(shí)對(duì)樣品表面的異物進(jìn)行檢測(cè)，大大提高了分析效率。